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《透射電子顯微鏡校準規(guī)范》征求意見稿發(fā)布

時間:2019-12-26 作者: 閱讀:4252
        近日,根據(jù)國家市場監(jiān)督管理總局計量函【2019】42號《市場監(jiān)管總局計量司關(guān)于國家計量技術(shù)規(guī)范制定、修訂及宣貫計劃有關(guān)事項通知》,受全國幾何量長度計量技術(shù)委員會的委托,由中國計量科學研究院和上海市計量測試技術(shù)研究院負責制定的《透射電子顯微鏡校準規(guī)范》出稿已完成。為了使該項計量技術(shù)規(guī)范更加完善和更具可操作性,全國幾何量長度計量技術(shù)委員會將規(guī)范予以公示,并面向全社會公開征求意見。
 
        《透射電子顯微鏡校準規(guī)范》具體內(nèi)容包括范圍、應用文件、術(shù)語和定義、概述、計量特性、校準條件、校準項目和校準方法、校準結(jié)果的表達、復校時間間隔等,適用于透射電子顯微鏡的校準。
 
透射電鏡的計量特性參見表1:
 
        儀器在校準過程中需要考慮的環(huán)境條件包括溫度:(20±5)℃,濕度:≤70%RH,其中,實驗室震動和電磁輻射應不影響測量結(jié)果。而儀器的校準項目所采用的標準樣品是周期柵格、硅晶格等,可根據(jù)計量特性、儀器測量范圍和實際使用情況選用相適應的標準樣品。

校準用標準樣品參見表2:
 
        透射電鏡的校準項目和校準方法包括測長示值誤差、測長重復性、正交性誤差、漂移速率等內(nèi)容。另外,關(guān)于儀器的復校時間間隔,規(guī)范明確,由于復校時間間隔的長短是由透射電鏡的使用狀況、使用者、設(shè)備本身質(zhì)量等諸因素所決定的,因此,送校單位可根據(jù)儀器實際使用情況自主決定復校時間間隔。建議復校時間間隔一般為1年。
 
        以上規(guī)范的編寫主要參考了JJG(教委)011-1996《透射電子顯微鏡檢定規(guī)程》與GB/T 34002-2017《微束分析 透射電子顯微術(shù) 用周期結(jié)構(gòu)標準物質(zhì)校準圖像放大倍率的方法》的相關(guān)內(nèi)容。規(guī)范制定的目的是解決透射電子顯微鏡在長度測量應用中的校準問題。

[來源:化工儀器網(wǎng)]
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